详解无尘室中的环境控制科学与艺术
无尘室的核心任务是为精密制造(如芯片、生物制药)和科学研究提供一个不受外部宏观世界干扰的稳定空间。其控制哲学可以概括为:“主动防御,动态平衡,持续净化”。 一、 环境控制的“科学”支柱:四大关键参数 无尘室的科学控制建立在四个可量化、可监测、可调节的物理参数上。 1. 空气洁净度:控制的基石 这是无尘室核心的指标,指单位体积空气中尘埃粒子的数量和大小。 标准依据: 国际通用的是 ISO 14644-1 标准,它根据每立方米空气中特定尺寸(如≥0.1μm, ≥0.3μm,
≥0.5μm)粒子的大允许浓度来划分等级(如ISO 5级、ISO 7级)。 如何实现: HEPA/ULPA过滤器: 这是“守门神”。高效颗粒空气过滤器 能捕获99.97%以上≥0.3μm的颗粒;超高效颗粒空气过滤器
则能捕获99.999%以上≥0.1-0.2μm的颗粒。空气通过它们后被“一定净化”。 气流组织模式: 这是“运输队”。 单向流/层流: 空气以均匀的截面风速(如0.3-0.5
m/s)沿单一方向平行流动,像一道无形的气墙,将污染物瞬间“推”出工作区。用于高级别的区域(如光刻区)。...
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