电子无尘室:芯片制造背后的“无菌战场”
在半导体行业,纳米级的尘埃都可能毁掉价值上万的晶圆。电子无尘室(Cleanroom)正是芯片制造的“无菌手术室”,其空气洁净度、温湿度控制及静电防护的严苛程度,甚至超过医院手术室。以下是这一高科技环境的深度解析: 1. 无尘室等级:比手术室更干净 ISO标准分级: ISO 1级(每立方米≤12颗粒,粒径≥0.1μm):用于极紫外光刻(EUV)等工艺。 ISO 5级(≤3,520颗粒,≥0.5μm):主流芯片制造车间(如7nm以下产线)。 对比:医院手术室通常为ISO 7级,普通办公室为ISO 9级。 微粒控制: 采用HEPA/ULPA过滤器,过滤效率达99.9995%(0.12μm颗粒)。 2. 环境控制:芯片的“生存法则” 温度与湿度: 恒温22±0.1℃、湿度45±5%,防止热胀冷缩导致光刻对准偏差。 气流设计: 垂直层流(天花板送风、地板回风)或湍流控制,确保微粒快速排出。 静电防护: 离子风机中和电荷,地面/工作台电阻控制在10⁶~10⁹Ω(ESD标准)。 3. 人员与物料:全流程“无菌化”管理 人员防护: 穿戴无尘服(Coverall)、...
了解更多